半导体特气检漏仪XP-703D,便携式有毒气体检测技术参数指标和详细产品资料

型 号

检测对象气体

半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等）

检测原理

热线型半导体式

采样方式

自动吸引式

可检测浓度

（单位：ppm）

砷烷    磷烷    乙硼烷     硅烷     氢气

AsH_{3    PH3       B2H6      SiH4       H2} PH₃       B₂H₆      SiH₄       H₂

0.2     0.3     0.1        0.5        1.0

检测表示

蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁

应答速度

10秒以内