·最适合于检测半导体特气的微量泄漏。
·采用声光报警。
规格
型 号
检测对象气体
半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等）
检测原理
热线型半导体式
采样方式
自动吸引式
可检测浓度
（单位：ppm）
砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
检测表示
蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
应答速度
10秒以内
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