·采用定电位电解式传感器，对被测气体具有选择性。
·高检测灵敏度。
·能检测很多种类的半导体特气。
·液晶数字显示。
规格
型 号
检测对象气体
砷烷 (ASH3)
磷烷 (PH3)
乙硼烷 (B2H6)
其它
检 测 范 围
0～1ppm
0～0.2ppm
0～0.3ppm
因规格而异
最 小 刻 度
0.1ppm
0.01ppm
采 样 方 式
自动吸引式
应 答 速 度
60%应答40秒
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