TS130深槽传感器
使用TS130沟槽传感器，可测量槽宽大于2mm，槽深小于3mm的沟槽：或者高度小于3mm的台阶的表面粗糙度，也可测量平面、柱面，配合测量平台TA610/TA620使用。

TS131深槽传感器
使用TS131深槽传感器，可测量槽宽大于3mm，槽深小于10mm的沟槽；或者高度小于10mm的台阶的表面粗糙度，也可测量平面、柱面；配合测量平台TA610/TA620使用。