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TS130深槽传感器
使用TS130沟槽传感器,可测量槽宽大于2mm,槽深小于3mm的沟槽:或者高度小于3mm的台阶的表面粗糙度,也可测量平面、柱面,配合测量平台TA610/TA620使用。
TS131深槽传感器
使用TS131深槽传感器,可测量槽宽大于3mm,槽深小于10mm的沟槽;或者高度小于10mm的台阶的表面粗糙度,也可测量平面、柱面;配合测量平台TA610/TA620使用。